Q. 高周波電源とはどのようなものですか?

A. 高周波電源は数キロヘルツ(kHz)~数百kHz程度の周波数で一定の電圧を出力する電源です。

プラズマやイオンの生成に使用され、機能性材料の開発に使用されています。


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